多组分密度计的优点如可维护性和高精度在线测量是相同的，但它是一个具有用于半导体制造工艺的小型电池型发射器的模型。

多组分密度计的特点

三个组件中的双组分密度计侧可以实时实现

标准配备模拟DC 4-20mA（2系统）和数字RS232C

标准配备测量误差输出和报警输出

标准配备自诊断功能和错误信息显示

小巧轻便的蜂窝发射器可以直接安装在线路上

采用PFA的液体接触材料对液体化学品没有影响，输出设计小

使用

CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制

清洗过程中清洗液浓度的控制（HF + HNO3·HF + H2SiF6等）

蚀刻过程中的蚀刻剂浓度控制（TMAH +抗蚀剂·TMAH + Si等）

优点

可以高精度地进行连续测量

免维护，无需定期调整和校准

安装时的各种调整是不必要的，并且安装容易

通过实时输出轻松反馈处理